HR-AFM 是一款可以完全国产化的专业级高分辨率原子力显微镜，Z 轴噪音低于35皮米。该设备可以在不破坏样品内部结构的情况下观测样品微区三维形貌和多相结构；同时可对样品表面物理化学特性进行研究，数值测定与分析。

国内生产的HR-AFM原子力显微镜

标准工作模式：轻敲模式(Vibration mode)，接触模式 (Contact mode)，相位成像模式 (Phase imaging)，横向力模式 (LFM)，力曲线测试（Force Curve），纳米操控 （Nanomanipulation），纳米刻蚀 （Nanolithography），力矩阵模式 （Force Mapping），摩擦力测试 （Friction Mode）

可选工作模式：导电原子力显微镜 （C-AFM），磁力显微镜（MFM），静电力显微镜（EFM）,扫描电势显微镜（SKPM）。

设备具有软件自动进针功能。通过软件控制Z方向马达实现探针自动进针。

X,Y,Z三轴分离的扫描器。扫描范围 100×100×17μm，Z轴分辨率0.035nm。样品台行程尺寸：25.5mm*25.5mm*18mm 。

操作软件：使用Laview环境语言控制，免费提供操作软件，并提供终身免费维护及升级。提供Gwyddion IMAGE ANALYSIS SOFTWARE 数据分析系统

顶视系统光学分辨率≤2微米，视场范围从2mm*2mm到300um*300um可调，放大倍率从45倍到400倍机械可调。

侧视系统，提供可视化下针，可以通过电脑精确观察控制下针过程，防止撞针。

AFM Control 软件

AFM中没有简单的分辨率定义，这是因为AFM是进行三维测量，而不是光学显微镜和电子显微镜那样进行二维测量。在AFM中，垂直（Z）和水平（XY）轴的分辨率值不同，每个轴上的分辨率可以定义为：Z轴：在垂直轴上，分辨率定位为AFM本底噪音。当不扫描AFM时，通过捕获表面的探针运动以反馈方式测量本底噪音。本底噪音图像是通过在零扫描范围内测量AFM图像来测量，如果Z底噪为35皮米，则理论上任何大于35皮米的表面特征都能看到。