AFMWorkshop NP-AFM

NP-AFM

 NP-AFM是一台纳米分析仪器，用于样品表面粗糙度和样品微尺度分析。主要应用包括工艺开发和技术样品制作的过程控制。

高分辨率视频	为扫描样品做精确定位
多种样品台 或者 真空吸盘	为样品提供最佳方案
XY闭环扫描	可高精度快速缩放扫描区域
探针换置工具	大幅减少换探针时间
In plane flexure XY scanner	Minimal out of plane motion in images
Labview 软件 USB 通讯	非常方便适用于各种新系统
使用各类探针	各类特殊规格探针均可使用

NP-AFM Overview

§ NP-AFM是一套完整的纳米分析系统，包括进行扫描样品需要的所有工具：显微镜主机，电控箱，控制计算机，探头，手册和视频显微镜。 NP-AFM系统标准样品尺寸200mm×200mm的×20mm，可选配各类不同大小的样品台。

AFM 纳米分析对象:
– 各种技术样品
– 晶片,磁盘

三个样品台选项，可以适应样品台大小最高 200mm X 200mm X 20mm

内置高分辨率视频显微镜

线性化XY轴压电扫描器

适用于各类标准尺寸探针

包含轻敲模式接触模式，以及横向力和相位模式

实用电动下针模式

试用 LabVIEW-based 软件

使用行业标准的光学杠杆传感器，所有标准扫描模式都为标配，轻敲模式用于高分辨率成像和软样品，接触模式用于日常扫描，相位模式和横向力模式也包含在系统内。

控制软件由LabVIEW编写，非常简单易用。不同的窗口指导用户完成整个过程：预扫描窗口用于原子力显微镜寻找合适区域以及下探针，扫描窗口用于采集图像，力曲线窗口用于测量F / D曲线，最后，一个系统窗口用于修改系统参数。

NP-AFM 适用于各类技术样品(如晶片磁盘)的日常扫描,以及纳米研究.

NP-AFM 性能

晶片分析

原子力显微镜是一个非常高分辨率的分析仪器,它能够对各种经过处理的晶片进行测量,其中包括：

表面形貌的成像 – 通常表面特征的成像可以帮助确认一个过程是否已经有效的完成。 AFM对于在晶圆工艺中经常遇到的超平样品也可以提供极高的对比度。

表面粗糙度/纹理测量 – 原子力显微镜是唯一可以用于纳米级表面粗糙度测量的仪器。加上适当的防震隔音罩，它可以测量表面纹理低至0.1纳米的样品。

台阶高度测量 –原子力显微镜能够用于台阶高度测量,可以测量从0.3纳米至500纳米的台阶高度。标配的高分辨率的视频显微镜用于定位扫描区域

下面是一个例子的测量有图案的使用CMP抛光的晶圆。下面是一个光学显微镜图像的三个测量位置。可见光学显微镜图像中的悬臂;红色的激光用于探针AFM探针光学传感器。测量的位置被确定为1,2和3。